晶圆经过前谈工序后芯片制备完成,还需要经过切割使晶圆上的芯片隔离下来成人新区,终末进行封装。不同厚度晶圆选拔的晶圆切割工艺也不同:
厚度100um以上的晶圆一般使用刀片切割;
厚度不到100um的晶圆一般使用激光切割,激光切割不错减少剥落和裂纹的问题,然则在100um以上时,坐褥后果将大大裁减;
厚度不到30um的晶圆则使用等离子切割,等离子切割速率快,不会对晶圆名义变成毁伤,从而栽种良率,然则其工艺过程更为复杂;
在晶圆切割过程中,预先会在晶圆上贴敷胶膜,以便保证更安全的“切单”,其主要作用有底下几个方面。
固定和保护晶圆
在划片操作时,需要对晶圆进行精真确割。晶圆经常很薄且脆,UV 胶带能将晶圆巩固地粘贴在框架或载片台上,防范晶圆在切割过程中发生位移、震动,确保切割的精度和准确性。
它不错为晶圆提供邃密的物理保护,幸免切割过程中可能出现的外力冲击、摩擦等对晶圆变成毁伤,如产生裂纹、崩边等劣势,保护晶圆名义的芯片结构及电路完好意思。
便于切割操作
UV 胶带具有合乎的弹性和柔韧性,在切割刀片切入时八成遗弃变形,使切割过程愈加顺畅,减少切割阻力对刀片和晶圆的不良影响,有助于栽种切割质料和刀片的使用寿命。
其名义特点八成使切割产生的碎片较好地附着在胶带上,而不会四处飞溅,便于后续对切割区域的计帐,保捏职责环境相对清洁,也幸免了碎片对晶圆过火他设立变成稠浊或干涉。
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在晶圆切割完成后,通过映照特定波长和强度的紫外线,不错使 UV 胶带的粘性马上裁减以致皆备失去粘性,从而八成率性地将切割后的芯片从胶带上隔离下来成人新区,绵薄进行芯片的后续封装、测试等工艺经过,况且这种隔离过程对芯片的毁感冒险极小。